下载一种LED制备方法、LED和芯片的技术资料

文档序号:15510486

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本发明提供一种LED制备方法、LED和芯片,属于发光二极管技术领域。该方法包括:在衬底上依次生长U型氮化镓层和N型氮化镓层;在所述N型氮化镓层上依次生长M个量子阱结构,其中,所述量子阱结构包括量子阱层、盖帽层和势垒层,其中,M为大于等于10...
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