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本发明提出一种具有电性补偿的微机电元件，包含：一固定结构，具有至少一固定电极以及至少一补偿固定电极；一活动结构，具有一活动电极以及一补偿活动电极，活动电极与固定电极形成一感测电容，补偿活动电极与补偿固定电极形成一补偿电容；一补偿电路，以补偿...
该专利属于立锜科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过立锜科技股份有限公司授权不得商用。

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