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本发明提供电子部件搬运装置以及电子部件检查装置，能够在冷却部件上对电子部件进行均匀冷却。电子部件检查装置(1)具有作为冷却电子部件的冷却部件的温度调整部(12)。温度调整部(12)具有供制冷剂(RF)流入的第一流路(37)、与第一流路(37...
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