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一种柔性氧化镓基日盲紫外光电探测器及其制备方法技术
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下载一种柔性氧化镓基日盲紫外光电探测器及其制备方法的技术资料
文档序号:15439717
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本发明公开一种柔性氧化镓基日盲紫外光电探测器及其制备方法,具体是指利用气相沉积法制备氧化镓微米带材料,将其作为日盲紫外光的光敏材料,将氧化镓微米带材料转移到柔性衬底上,再结合掩模和真空镀膜方法在氧化镓微米带的两端制备金属电极,最终制备获得柔...
该专利属于福建农林大学所有,仅供学习研究参考,未经过福建农林大学授权不得商用。
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