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具有图案化微结构阵列的电容式触觉传感器制造技术
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文档序号:15433516
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本发明公开了一种具有图案化微结构阵列的电容式触觉传感器。由从上至下依次的指纹状表面微凸起、上层电容电极基底、上层电容电极、二维正弦微凸起介电层、下层电容电极和下层电容电极基底层叠而成,指纹状表面微凸起用于接收外部力刺激,上、下层电容电极基底...
该专利属于浙江大学所有,仅供学习研究参考,未经过浙江大学授权不得商用。
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