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本发明涉及具有实心沟槽侧壁（2.3）用于夹持卡盘（1.1）的卡盘托盘（1.3），由此所述卡盘托盘（1.3）的xy参考部（2.5）位于与z参考部（2.1）相同的平面（2.1）中，所述xy参考部（2.5）也位于所述实心沟槽侧壁（2.3）处。所述...
该专利属于系统3R国际股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过系统3R国际股份有限公司授权不得商用。

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