下载半导体装置中的侧壁桥互连体的技术资料

文档序号:15332408

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公开了一种半导体装置,以及其制造方法。半导体装置包括堆叠在一起的多个半导体裸芯,堆叠体具有至少一个侧壁,来自多个半导体裸芯的电触头在侧壁处暴露。桥导电图案被形成在侧壁上,在侧壁处与电触头电互连。桥导电图案被形成在被移除的绝缘层上。因此,导电...
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