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一种非球面在位检测中的位置误差标定方法技术
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文档序号:15290603
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一种非球面在位检测中的位置标定方法,首先采用三点法进行转台中心标定,然后以转台中心为基准,进行非球面中心四点标定,再测量非球面的面型数据,通过对测量数据进行处理,计算出标定的残余误差并对测量结果进行优化,本发明通过对标准球和非球面表面的测量...
该专利属于西安交通大学所有,仅供学习研究参考,未经过西安交通大学授权不得商用。
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