下载带感应片的吊装旋转真空镀膜室的技术资料

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本实用新型涉及带感应片的吊装旋转真空镀膜室,包括真空泵、导气管、反应室、蒸发源、镀膜支架、感应片、旋转台,其特征在于真空泵通过导气管与反应室连通,反应室中央位置设置有旋转台,镀膜支架设置在反应室顶部下方,镀膜支架上表面朝上突起,蒸发源位于镀...
该专利属于苏州市博飞光学有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州市博飞光学有限公司授权不得商用。

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