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通过蒸馏和吸附进行氯硅烷提纯制造技术
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文档序号:15195356
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本发明涉及用于蒸馏分离多组分混合物的方法和装置,所述多组分混合物包含二氯甲硅烷、三氯甲硅烷、四氯化硅和至少一种含硼、含磷或含砷杂质,该发明使用采用改良分隔壁技术和用于除去至少一种含硼、含磷或含砷杂质的吸附器的蒸馏塔以最大可能的纯度除去目标产...
该专利属于瓦克化学股份公司所有,仅供学习研究参考,未经过瓦克化学股份公司授权不得商用。
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