温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供了光学装置、加工装置以及物品制造方法。所述光学装置包括：包含第一反射面及第二反射面的可旋转反射件；光学系统，其被构造为通过所述光学系统中包括的多个反射面来依次反射被所述第一反射面反射的光，并且使所述光入射在所述第二反射面上；以及调...
该专利属于佳能株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过佳能株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。