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本实用新型公开了一种可控滴液的水膜装置，包括：用于向前运送硅片的传送辊轮组件、间隔排列于传送辊轮组件上方的多个喷淋机构、给所有喷淋机构供水的储水桶。喷淋机构包括：位于传送辊轮组件正上方的滴液盒、与滴液盒连接的隔膜泵、连接隔膜泵与储水桶的出水...
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