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本实用新型公开了一种乙硅烷生产装置，包括连接反应釜的加料系统、储槽，反应釜上方的出口，反应釜底部的排渣口，和反应釜内安装的高剪力型叶片搅拌器；所述加料系统内装有硅化镁和氯化铵，所述储槽内装有液氨，所述出口排出硅烷反应混合物，所述出口排出的硅...
该专利属于浙江迅鼎半导体材料科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江迅鼎半导体材料科技有限公司授权不得商用。

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