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本发明涉及一种具有原子级平整表面的衬底的制备方法，该方法包括以下步骤：提供相同材料的至少两个预处理衬底，每个所述预处理衬底具有至少一抛光面；将所述至少两个预处理衬底层叠设置形成一层叠结构体，其中，相邻的两个所述预处理衬底的所述抛光面相对且完...
该专利属于清华大学所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学授权不得商用。

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