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一种硅片分片装置制造方法及图纸
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下载一种硅片分片装置的技术资料
文档序号:14995552
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一种硅片分片装置,包括分片机构和供料槽;所述分片机构包括硅片分片机构本体,该硅片分片机构本体向下设有两个平行且间隔设置的分片输送带,所述硅片分片机构本体朝向所述分片输送带设有气孔,该气孔通过管路与抽气装置连通;所述分片输送带的输送方向的前端...
该专利属于苏州博阳能源设备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州博阳能源设备有限公司授权不得商用。
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