下载微小型中红外光波导气体传感器的技术资料

文档序号:14994956

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本发明公开了一种微小型中红外光波导气体传感器,包括气室、入气孔、排气孔、进光孔、出光孔以及光波导;入气孔和排气孔均设置于气室顶端,进光孔和出光孔分别设置于气室相对的两个侧壁上,光波导包括基底和芯层,基底设置于气室底端,芯层设置于基底上并采用...
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