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用于保护芯片选择性部分的刚性掩模制造技术
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下载用于保护芯片选择性部分的刚性掩模的技术资料
文档序号:14982299
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一种刚性掩模(10),用于保护用于生化反应的芯片(1)的选择性部分,芯片包括多个井(5),所述刚性掩模包括:支撑部分(12);以及多个支腿(14),每个支腿均设置有刚性芯柱(14a)和板(14b)。支腿(14)以与井(5)的空间布置呈镜面反...
该专利属于意法半导体股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过意法半导体股份有限公司授权不得商用。
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