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一种ITO基透明导电薄膜近红外波段透射增强的制备方法技术
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下载一种ITO基透明导电薄膜近红外波段透射增强的制备方法的技术资料
文档序号:14911534
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本发明提供了一种近红外波段透射增强特性的ITO基透明导电薄膜的制备方法,将石英基片放置于镀膜夹具;在一定真空度及烘烤温度下,采用电子束蒸发法进行沉积镀膜,先后在石英基片上分别沉积ITO层和Cu层以形成Cu/ITO复合薄膜;将制备好的Cu/I...
该专利属于上海理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过上海理工大学授权不得商用。
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