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一种多码道光栅尺、测量设备及数据处理方法，该光栅尺包括第一光栅码道、第二光栅码道、线性渐变滤光片码道、两个光栅读数头以及渐变片读数头，三个码道相互平行并列，两个光栅读数头对应于第一、第二光栅码道而设置，渐变片读数头对应于线性渐变滤光片码道而...
该专利属于清华大学深圳研究生院所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学深圳研究生院授权不得商用。

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