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本发明的微细机械装置及其制造方法可更容易地防止在各种环境下使用的微细机械装置中的粘连。微细机械装置包括可动部(103)，所述可动部(103)通过支承部(102)支承在基板(101)上，在可动区域内与基板(101)隔开配置，且能够在可动区域内...
该专利属于阿自倍尔株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过阿自倍尔株式会社授权不得商用。

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