下载半导体器件的技术资料

文档序号:14786290

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本公开提供一种半导体器件。该半导体器件包括形成在基板上的彼此间隔开的多个线图案,所述多个线图案具有第一宽度并在第一方向上平行于彼此延伸。所述多个线图案中的第一线图案可以包括在垂直于第一方向的第二方向上具有第二宽度的更宽部分,该第二宽度大于第...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。

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