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本实用新型属于半导体领域，涉及硅片制作工艺中的一种工具，具体涉及一种硅片清洗用花篮，包括框架，所述的框架为上下贯通的四边形结构，框架的两个长边为中间高两边低的倒V型结构，两个长边内壁对称开设有若干组插槽。本实用新型所具有的有益效果是：(1)...
该专利属于青岛金汇源电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过青岛金汇源电子有限公司授权不得商用。

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