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本发明涉及一种基板搬送装置。本发明一实施例涉及的基板搬送装置(100)的特征在于，包括：搬送部(110)，其与基板(10)的上部面相向，以非接触式支持基板(10)的上部面；以及主体部(150)，其包括用于向搬送部(110)提供气体(g)以及...
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