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本发明提供一种晶圆及其制备方法，包括多个结构相同的晶粒，每个晶粒中间的超结元胞结构包括P型掺杂区与N型掺杂区，两种掺杂区中至少一种划分为多个子区域，同种掺杂类型的相邻子区域被另一种类型的掺杂区分隔开；制备方法包括以下步骤：(1)采用N型硅片...
该专利属于电子科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过电子科技大学授权不得商用。

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