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抗击穿的HEMT衬底和器件制造技术
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下载抗击穿的HEMT衬底和器件的技术资料
文档序号:14641593
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本发明是抗击穿的HEMT衬底和器件。一种具有主表面和后表面的化合物半导体器件结构包括:包括第一和第二衬底层的硅衬底。所述第一衬底层延伸至所述后表面。所述第二衬底层延伸至所述硅衬底的与所述后表面相反的第一侧,使得所述第一衬底层通过所述第二衬底...
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