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本发明公开一种加工芯柱组件薄型平面的密封吸附式可调支撑装置，它由基座、密封圈、安装盘、连接螺钉、定位芯棒、固定螺钉、可调支撑螺钉座、止转块、可调支撑螺钉、密封垫片及密封螺钉所组成。本装置通过安装盘上的凹槽放入密封圈并与基座以连接螺钉连接，定...
该专利属于中国科学院上海技术物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院上海技术物理研究所授权不得商用。

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