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本发明涉及一种用于进行等离子体化学气相沉积的装置，其中在玻璃基管内部沉积一层或多层掺杂或未掺杂层，该装置包括具有内壁和外壁的涂覆器和通向涂覆器的波导管，该涂覆器沿着圆筒轴延伸并且具有接近内壁的通道，微波通过该通道离开，该基管可位于圆筒轴上，...
该专利属于德拉卡纤维技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过德拉卡纤维技术有限公司授权不得商用。

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