下载电弧涂层石英玻璃坩埚的生产设备及其制造工艺的技术资料

文档序号:1459016

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本发明公开了一种能提高石英玻璃坩埚内壁纯度,减少内壁气泡密度的电弧石英玻璃坩埚的生产设备及其制造工艺。包括石墨模具,在石墨模具内设有石英加料棒,石英加料棒与加料瓶相通,在石英加料棒的中间设有旋转接头,在加料瓶内设有振动器。本发明采用可调控的...
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