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一种多晶硅生产中使用的硅芯及其硅芯组件制造技术
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文档序号:14560568
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一种多晶硅生产中使用的硅芯及其硅芯组件,涉及多晶硅生产领域,本发明所述的硅芯由若干相互并列排置的竖硅条组合而成,各竖硅条之间留有间隙,便于还原炉中的反应气体从硅条之间穿过。组合后的硅芯横截面不同于传统的实心结构的硅芯,可以用较少的硅材获得较...
该专利属于洛阳金诺机械工程有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过洛阳金诺机械工程有限公司授权不得商用。
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