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一种碳化硅半导体制造技术
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下载一种碳化硅半导体的技术资料
文档序号:14548399
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本发明公开了一种碳化硅半导体,所述碳化硅半导体两侧设置有耐压层,可以进一步增加半导体的耐压性能,所述N-集电层内设置有沟道,所述沟道与沟道之间设置有绝缘保护膜,可以在N-集电层内形成低电阻的电流通道,从而提高击穿电压值,所述欧姆接触层内设置...
该专利属于泰州优宾晶圆科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过泰州优宾晶圆科技有限公司授权不得商用。
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