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本实用新型涉及一种多晶硅打磨设备，包括用于夹持多晶硅的夹持装置和用于对多晶硅进行打磨操作的打磨装置，所述夹持装置包括将多晶硅两侧夹紧的夹持部和与多晶硅背面相抵的抵接部，所述打磨装置包括磨头以及用于驱动磨头做前后左右进给运动的驱动装置，磨头和...
该专利属于浙江溢闳光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江溢闳光电科技有限公司授权不得商用。

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