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本发明具体公开一种电容式湿度传感器及其制造方法，包括至少一个第一传感部件、第二传感部件、第三传感部件及衬底，所述传感部件相离固设于衬底表面；第一传感部件包括加热电极层、绝缘层、第一电极层、湿敏层及第二电极层；第一传感部件的加热电极层叠设于衬...
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