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本实用新型公开一种多点控温结晶釜,包括釜体,所述釜体的内部按上中下位置分别设有三个温度传感器,在对应温度传感器的釜体的内壁上设有三个分离的石墨烯加热板,所述温度传感器和石墨烯加热板均电连接至控制器。本实用新型的一种多点控温结晶釜,利用温度传...该专利属于无锡市翱宇特新科技发展有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过无锡市翱宇特新科技发展有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开一种多点控温结晶釜,包括釜体,所述釜体的内部按上中下位置分别设有三个温度传感器,在对应温度传感器的釜体的内壁上设有三个分离的石墨烯加热板,所述温度传感器和石墨烯加热板均电连接至控制器。本实用新型的一种多点控温结晶釜,利用温度传...