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本发明公开了一种用于窥镜机器人的柔性传感器,其包括柔性敏感层,所述柔性敏感层的上、下端面上分别形成有上、下电极层,并且所述柔性敏感层的上、下端面中的至少一者具有非平面结构,同时所述柔性敏感层与上电极层或下电极层之间还设置有柔性支撑层,所述柔...该专利属于中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所授权不得商用。
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本发明公开了一种用于窥镜机器人的柔性传感器,其包括柔性敏感层,所述柔性敏感层的上、下端面上分别形成有上、下电极层,并且所述柔性敏感层的上、下端面中的至少一者具有非平面结构,同时所述柔性敏感层与上电极层或下电极层之间还设置有柔性支撑层,所述柔...