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一种集成有碳-碳纳米管复合材料微铰链结构的XY微型水平仪的设计及微制作方法技术
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文档序号:14407360
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本发明涉及一种集成有碳-碳纳米管复合材料微铰链结构的XY微型水平仪,所述XY微型水平仪的铰链部分为碳-碳纳米管复合材料,XY微型水平仪与积层PZT驱动器相集成为一个基础微型水平仪。本发明采用响应快、驱动力大、高功率密度的积层PZT作为驱动器...
该专利属于武汉理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过武汉理工大学授权不得商用。
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