下载铟砷锑和铟镓砷锑双波段红外探测器及制备方法的技术资料

文档序号:14370566

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本发明提供一种铟砷锑和铟镓砷锑双波段红外探测器及制备方法,所述铟砷锑和铟镓砷锑双波段红外探测器结构,包括:一GaSb衬底;一第一GaSb缓冲层,其生长在GaSb衬底上;一InGaAsSb PIN型短波器件,其生长在第一GaSb缓冲层上;一第...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。

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