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本发明公开了一种堆叠式高温退火工艺。它具体操作步骤如下：(1)将刻蚀后的硅片叠放整齐，放入退火用的石英片架中；(2)用石英盖板盖在石英片架的硅片上并压好硅片，将石英片架送入高温扩散/氧化炉中；(3)将高温扩散/氧化炉的炉管升温并稳定进行退火...
该专利属于横店集团东磁股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过横店集团东磁股份有限公司授权不得商用。

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