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用于多线切割机的晶托制造技术
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下载用于多线切割机的晶托的技术资料
文档序号:14276230
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本发明公开了一种能够减小出现薄厚片概率的用于多线切割机的晶托。该用于多线切割机的晶托,包括晶托板,所述晶托板底部连接有铁板,所述晶托板与铁板为一体式结构。通过将晶托板与铁板设置为一体式结构,在切割完一对硅棒后,将晶托从多线切割机内取出,然后...
该专利属于杨兴莲所有,仅供学习研究参考,未经过杨兴莲授权不得商用。
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