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干涉信号量测系统技术方案
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文档序号:14239946
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本发明实施例提供一种干涉信号量测系统,其包括波源、纵向扫描装置、第一侦测装置、第二侦测装置以及路径界定模组。来自波源的波经由第一、第二以及第三路径传递至待测物、纵向扫描装置以及第二侦测装置。被待测物反射的波经由第四路径传递至第一侦测装置。被...
该专利属于博隆精密科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过博隆精密科技有限公司授权不得商用。
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