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高效率抛光垫刻整与梳理装置制造方法及图纸
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文档序号:14228228
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本实用新型公开一种高效率抛光垫刻整与梳理装置,包含:一载盘;以及一刻整层;该刻整层具有复数个交错设置的凹沟以及复数个凸部,该凹沟具有一致的深度与宽度,该凸部具有一致的高度与宽度。本实用新型的高效率抛光垫刻整与梳理装置可以提供高效率的刻整与梳...
该专利属于张永尧所有,仅供学习研究参考,未经过张永尧授权不得商用。
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