下载离子束抛光离子源坐标位置标校系统和标校方法的技术资料

文档序号:14199846

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本发明公开了一种离子束抛光离子源坐标位置标校系统和方法,属于精密光学技术领域。它包括离子源,还包括法拉第杯及杯安装座、信号放大器、PLC、计算机和运动系统运动系统安装在离子束抛光设备上,离子源安装在运动系统上,法拉第杯位于运动系统各个运动轴...
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