温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种使用精馏塔来提纯高纯度四氯化硅的方法，其中所述精馏塔的塔板数或填料高度根据关键杂质的选择来确定。...
该专利属于成都蜀菱科技发展有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过成都蜀菱科技发展有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。