下载多晶硅还原炉高压启动装置的技术资料

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一种多晶硅还原炉高压启动装置,用于西门子法生产多晶硅的硅棒击穿、预加热阶段,包括饱和电抗器、变压器、倒级开关及检测装置和中央控制器,检测装置包括变压器原边电压检测装置、变压器原边电流检测装置、硅棒电流检测装置;中央控制器包括:饱和电抗器控制...
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