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压电元件和压电元件应用设备制造技术
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文档序号:14158357
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本发明的目的在于使用铌酸钾钠系压电材料的压电元件和压电元件应用设备中,实现压电体层的晶体取向性的提高、实现各种特性的提高等。压电元件(300)具备:在基板上形成的第1电极(60);在上述第1电极(60)上形成的由含有钾(K)、钠(Na)、铌...
该专利属于精工爱普生株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过精工爱普生株式会社授权不得商用。
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