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一种基于洛伦兹力的新型离面MEMS开关制造技术
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文档序号:14120572
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本发明提供一种基于洛伦兹力的新型离面MEMS开关,包括:一衬底;一对称吸合板,通过依次相连的一矩阵驱动梁和一单悬臂梁,与一固定于所述衬底上的固定锚点连接,该矩阵驱动梁处于一磁场施加区域;一金属对称吸合板,固定于所述衬底上,位于所述对称吸合板...
该专利属于北京大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京大学授权不得商用。
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