下载一种用于晶棒切割的支撑装置的技术资料

文档序号:14102846

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本实用新型公开了一种用于晶棒切割的支撑装置,包括底座以及与底座连接的若干石墨条;底座通过调节组件与石墨条连接,调节组件包括与底座连接的第一调节杆以及嵌入在第一调节杆的第二调节杆,第一调节杆上还设有若干调节孔;每个石墨条上开凿有用于安装晶棒的...
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