下载物料完全循环的太阳能级多晶硅氢锌还原方法的技术资料

文档序号:1406964

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本发明公开了一种物料完全循环的太阳能级多晶硅氢锌还原方法,首先将Si和H↓[2]、Cl↓[2]反应合成SiHCl↓[3],然后将SiHCl↓[3]通过H还原生产多晶硅,H还原过程中的副产物SiCl↓[4]回收后,再通过Zn还原生产多晶硅。Z...
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