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利用编码孔径进行的阴影掩模的对准制造技术
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下载利用编码孔径进行的阴影掩模的对准的技术资料
文档序号:14050509
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在一种阴影掩模‑衬底对准的方法中,提供了一种衬底,其包括具有多个相互隔开的条块的格栅,还提供了一种阴影掩模,其包括具有多个相互隔开的条块的格栅。还提供了一种光源‑光接收器对,该光源‑光接收器对在其间限定了一条光路径。将衬底的格栅和阴影掩模的...
该专利属于阿德文泰克全球有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过阿德文泰克全球有限公司授权不得商用。
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