温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种使用具有碳原子的加速中性射束形成位于基板表面上的带图案的硬掩膜的方法。本发明的前述目的以及进一步的和其他的目的和优势通过下述本发明的各个实施例实现。...
该专利属于艾克索乔纳斯公司所有，仅供学习研究参考，未经过艾克索乔纳斯公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。