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提供了一种质量流量控制器，其包括压力式流量计、热式流量计、控制阀和系统控制器。压力式流量计和热式流量计每一个都测量通过质量流量控制器的质量的流量。控制阀响应于当测量流量相对较低时，根据由热式流量计测量的流量，及当流量相对较高时，根据由压力式...
该专利属于MKS仪器公司所有，仅供学习研究参考，未经过MKS仪器公司授权不得商用。

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